1、普通过磷酸钙生产过程的含氟废气处理

含氟废气中的氟化物易溶于水，通常以水作吸收剂，吸收液一般为8~10%的氟硅酸溶液。这种两室一塔流程，两室的总吸收率在90~93%之间。由于流程中增加了两次除沫过程，最终吸收率可达97~99%。

2、钙镁磷肥废气中的含氟废气治理

高炉钙镁磷肥生产过程产生的含氟高炉废气的除氟方法可分为干法和湿法两种。

干法是采用块状石灰石进行吸收，其优点在于不产生含氟废水，但不同石灰石的吸收效率相差很大，推广应用受到很大限制。

3、磷酸凌气中的含氟废气处理

湿法磷酸生产过程排出的含氟废气，以水为吸收剂进行吸收处理，生成18%左右的氯硅酸溶液。其工艺流程见图3-9。