1、电子厂废气产生源

电子厂一般是生产电池和一些设备上的电子配件等

电子专用材料、半导体器件、电子元件及印制电路板、光电器件和电子终端产品等

电子行业废气VOCs主要来源于对电子产品的表面涂层工艺环节所用溶剂型涂料和清洗工艺环节所用有机溶剂所致。

2、电子厂废气成分

电子行业废气VOCs常见的种类有：异丙醇、丁酮、甲苯、醋酸丁酯、甲醇、乙醇、丙酮、二甲苯、丙二醇单甲醚、苯乙烯、乙酸乙酯、正丁醇、甲基异丁基甲酮、二氯甲烷、环已酮、乙苯、正庚烷、甲氢呋喃、三氯乙烯和氯仿等。

3、电子厂废气处理方案

3.1吸附法

吸附法利用多孔性固体吸附剂处理混合气体，吸附剂选择性高，活性炭属非极性吸附剂，对非极性化合物有较强的吸附能力，一般可净化低浓度VOCs，净化效率可达到90%以上。

3.2转轮浓缩+焚烧法

沸石浓缩转轮+焚烧方法使用的浓缩轮是一个装满吸附剂的旋转轮，废气由旋转轮的上游侧进入浓缩轮的吸附区，使VOCs得到浓缩，再经脱附燃烧处理，去除效率可在98%。但是相对来说投资就比较高了，有很多的企业无法接受动辄上百万的废气处理投资。

3.3低温等离子处理法

低温等离子废气处理设备：低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质的第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到分解污染物的目的。

 3.4蓄热式焚烧炉处理方法

rto工作原理：把有机废气加热到760℃以上，使废气中的VOCs氧化分解成二氧化碳和水。氧化产生的高温气体经特制的陶瓷热体，使陶瓷体升温而“蓄热”，此“蓄热”用于预热续进入的有机废气，从而节省废气升温的燃料消耗。陶瓷蓄热体应分成两个（含两个）以上的区或室，每个蓄热室依次经历蓄热-放热-清扫等程序，周而复始，连续工作。蓄热室“放热”后应立即引入适量洁净空气对该蓄热室进行清扫（以保证VOCs去除率在95%以上），只有待清扫完成后才能进入“蓄热”程序。