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真空泵尾气排放量如何计算

文章出处:未知 人气:发表时间:2019-10-24 14:57
进口真空泵抽真空速度计算方法 
S=2.303V/tLog(P1/P2) 

其中:

S为进口真空泵抽真空速度(L/s)

V为真空室容量(L) 

t为做到规定真空值需要時间(s)

 P1为原始真空值(Torr) 

P2为规定真空值(Torr)
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