工业废气处理设备
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18301170098半导体行业RTO维修的核心特点 安全等级最高：处理气体可能遇空气自燃（如SiH₄）、剧毒（AsH₃）、强腐蚀（HF）。任何泄漏或维修不当都可能导致严重安全事故或停产。 可靠性要求极
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| 故障现象 | 根本原因与风险分析（半导体行业视角） | 特种维修方案与安全措施 |
燃烧器点火失败或燃烧不稳定 |
1. 极高风险：可能因毒性/可燃性气体浓度检测（LEL）不准确，导致进入炉膛的气体浓度在爆炸极限内。 2. 废气热值极低且波动大（如大量NF₃、SF₆清洗工艺后），难以维持燃烧。 3. UV探测器被反应生成的金属氧化物粉尘（如SiO₂、P₂O₅）污染。 |
1. 绝对安全程序：维修前必须执行 “三重隔离” ：（a）工艺气体阀门关闭并上锁，（b）RTO前氮气吹扫阀开启并确认，（c）电源隔离。使用专用气体检测仪（针对特定气体） 多点检测。 2. 校准或更换 LEL检测仪、流量计和热值计算模块。 3. 清洁或更换UV探头，并检查其冷却风系统是否正常，防止过热和污染。 |
| 去除效率（DRE）下降，在线FTIR报警 |
1. 酸性气体腐蚀导致蓄热体表面活性丧失或局部堵塞，气流短路。 2. 高浓度粉尘负荷：工艺气体氧化产生大量超细粉尘（如TEOS氧化生成SiO₂），堵塞蓄热体微孔。 3. 燃烧温度不足或停留时间不够，导致难分解气体（如SF₆, CF₄） 处理不完全。 |
1. 性能诊断：结合压差数据和FTIR出口浓度图谱，分析是哪一类气体去除率下降。 2. 蓄热体特种处理： - 化学清洗：针对酸性盐沉积，使用专用酸/碱清洗剂。 - 整体更换：更换为抗腐蚀、大孔径、表面经特殊处理的蓄热体。 3. 检查并升级后处理系统：维修湿式洗涤塔（Wet Scrubber） 的喷嘴、循环液pH控制、除雾器等，确保其对HF、HCl等的高效去除。 |
| 急速腐蚀与泄漏 | 最危险的故障。HF、HCl、Cl₂等气体在高温氧化后，若在低温段（如余热回收器、阀门、烟囱）冷凝，形成浓酸液，造成快速腐蚀穿孔。 |
1. 紧急停机与隔离：立即切换至备用RTO或应急碱液洗涤塔。 2. 材质诊断与升级： - 检查腐蚀点，将受损部件更换为更高等级材料（如燃烧室/换热器用高镍合金Hastelloy C-276；管道阀门用FRP/CPVC衬里或高等级合金）。 - 保温层修复：确保所有低温部位保温完好，避免壁温低于酸露点。 3. 系统改造：考虑在易腐蚀段前增设热交换，提高壁温，或注入中和剂。 |
| 颗粒物（AMC）排放超标 |
RTO本身成为颗粒物来源： 1. 陶瓷蓄热体粉化脱落。 2. 金属部件高温氧化剥落。 3. 上游工艺带来的金属颗粒。 |
1. 源头控制：维修时检查蓄热体机械强度，更换粉化层。 2. 末端加装高效过滤：在烟囱前评估加装 “冷却+HEPA/ULPA” 过滤装置的可能性，以捕获亚微米级颗粒。 |
| 控制系统与联锁故障 | 安全联锁（SIS）失效是最大安全隐患。包括：气体浓度高/低报警、火焰丢失、温度超高/低、压力异常等联锁动作失效。 |
1. 系统性测试：维修后必须进行全面的安全联锁功能测试（FAT），模拟所有报警条件，验证每一个联锁阀门的动作是否正确、及时。 2. 冗余部件更换：定期更换关键传感器（如温度、压力变送器）。 3. 程序备份与验证。 |
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